1、給出各種被抽氣體的性能曲線,最好給出對一些氣體的壓縮比,方便用戶選用。
2、用微機控制運行與故障診斷。
3、密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。
4、目前國內生產擴散泵的廠家較多,型號、尺寸不統一,大泵越作越大,小泵則很少生產。況且對泵的全面性能也沒有考核指標。行業應對提高性能和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作,使用戶配套方便。
5、泵在結構方面:要縮小尺寸、降低重量,保證零件的加工精度,可增加級數,提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。
6、給出各種泵的返油率限定值,進一步降低返油率,擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,只有少數部件需要維修,泵內無運動部件,工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr,使用合適的擋板或阱在室溫狀態下可獲得10-10Torr或更低的壓力。
擴散泵的缺點是返油問題,加上擋油帽和冷阱及正確操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。
7、增加附件。如設置擋油帽,過熱保護裝置(對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位)。出口壓力的監控。
8、規定油量的最大值和最小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要觀察油位,以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。
9、給出合適的前級泵的容量。
10、為了節能加熱功率要可調,要快速起動和快速冷卻停泵,提高設備的運轉率。
以上是喆能小編為大家整理的一些關于提高擴散泵性能質量的建議,希望能夠幫助到大家。
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